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Park NX15原子力顯微鏡

簡要描述:Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。

  • 更新時間:2024-09-12
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量: 1895

詳細(xì)介紹

Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。

便捷的樣品測量(包含多樣品掃描)

一次可對多個樣品自動成像

設(shè)計的多樣本卡盤,一次至多可裝載9個單獨樣品(可選)

全電動XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm

通過消除掃描器串?dāng)_進行精準(zhǔn)的XY掃描

獨立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器

正交XY掃描

無需軟件處理即可保留真實可信的樣品表面形貌信息

真正非接觸模式實現(xiàn)探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護

快速的Z伺服速度,實現(xiàn)真正的非接觸模式

針尖磨損微小化,可實現(xiàn)長時間的高質(zhì)量和高分辨率成像

多種模式和選項

全面性的測量模式和表征方法

可實現(xiàn)可選配件和升級擴展功能

用于故障分析(FA)的精密電學(xué)測量

Park NX15原子力顯微鏡 參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高推動力掃描器

Z掃描范圍:15μm(30 μm可選)

XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍:100μmx 100μm

光學(xué)

帶視覺相機的同軸光學(xué)系統(tǒng)

物鏡:10x放大

視場:

480 μm X 360 μm(默認(rèn) 120 萬像素視覺相機)

840 μm X 630 μm( 默認(rèn) 500 萬像素視覺相機)

電路系統(tǒng)

信號處理

ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

樣品臺

Z位移臺行程范圍:25.5 mm

XY位移臺行程范圍:150 mm X 150mm

樣品大?。?/span>可滿足150 mm wafer 樣品




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